製品紹介

酸化物系基板用研磨剤製品
“CHEMISTER CL-シリーズ”

CHEMISTER CL-シリーズは、酸化物系基板用に開発した研磨剤製品です。酸化物系基板としては、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、サファイア、酸化亜鉛、ガーネット等が対象です。タンタル酸リチウムはSAWデバイス用基板、ニオブ酸リチウムは光通信用基板、サファイアはLED基板用等電子部品に利用されています。

特徴

以下に酸化物系基板用研磨剤製品 “CHEMISTER CL-シリーズ“の特徴と基本物性をご紹介します。

酸化物系基板用研磨剤 “CHEMISTER CL-シリーズ”の特徴

CHEMISTER CL-シリーズは、コロイダルシリカを砥粒としたポリシング用鏡面研磨剤です。

難加工性材料である、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、サファイア等に対して、高い研磨Rate、研磨面品質を実現します。

お客様のニーズ・ご要望にお答えしカスタマイズした研磨剤をご提供致します。

“CHEMISTER CL-シリーズ”の基本物性
項目 CHEMISTER
LiTaO3 サファイア ガーネット
CL-110 CL-5800 CL-20S3
pH 9.6 9.6 9.1
砥粒種 コロイダルシリカ コロイダルシリカ コロイダルシリカ
中心径(nm) 40 80 40

※代表値

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